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杂志ISSN号
X—Y工作台P型系列
作者姓名:
伊庭刚二
佘泸云
作者单位:
不二越股份公司(伊庭刚二)
摘 要:
本公司以空气轴承、超精密级加工技术为基础,在产业界首先成功地实现了超精密、高刚性的空气轴系和空气导轨的应用。X—Y工作台就是其中的产品之一。该工作台的导轨部分由于安装有特殊的表面节流型高刚性空气轴承因此负荷力矩大,成为实用性能优异的X—Y工作台。由于Y轴导轨部件的供气是由定轨导向面送进的,因此不受输气管的弹性影响,可以实现更高精度的运行。
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