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| 硅—硅键合界面的TEM观察 | |
| 作者姓名： | 詹娟 刘先廷 |
| 摘 要： | 本文主要利用电子透射显微镜观察硅片直接键合界面,在界面处存在一无定型过渡区,证实了依靠硅片表面吸附的羟基作用完成键合时,在界面会留下极薄的硅氧化物无定形区. |
| 关 键 词： | 硅片直接键合 硅 界面 电子透射显微镜 观察 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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