|
|||||
|
|
| 短沟道SOI／SDB CMOS器件性能研究 | |
| 引用本文： | 詹娟.短沟道SOI／SDB CMOS器件性能研究[J].微电子学,1997,27(5):323-325. |
| 作者姓名： | 詹娟 |
| 作者单位： | 东南大学微电子中心 |
| 摘 要： | 利用硅栅自对准分离子注入工艺制备了ＳＯＩ／ＳＤＢ ＣＭＯＳ器件，讨论了该器件的短沟道效应、“Ｋｉｎｋ”效应以及ＳＯＩ硅膜厚度对ＮＭＯＳ、ＰＭＯＳ管参数的影响。 |
| 关 键 词： | SOI 硅片直接键合 CMOS 硅器件 集成电路 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |