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第五代TFT-LCD生产线的工艺设备和材料
引用本文:郑圣德.第五代TFT-LCD生产线的工艺设备和材料[J].电子工艺技术,2005,26(2):114-118.
作者姓名:郑圣德
作者单位:上海华嘉光电技术有限公司,上海,201821
摘    要:TFT-LCD是当前平板显示器(FPD)的主流显示器.从整个产业链上对第五代TFT-LCD生产线的工艺、设备、材料及发展趋势作一概要的介绍,为大家初步了解第五代TFT-LCD生产线提供参考.

关 键 词:TFT-LCD  彩色滤光片  TAB-IC/OLB
文章编号:1001-3474(2005)02-0114-05
修稿时间:2005年3月4日

Technologies Equipments and Materials of the Fifth Generation TFT LCD Production Line
ZHENG Sheng-de.Technologies Equipments and Materials of the Fifth Generation TFT LCD Production Line[J].Electronics Process Technology,2005,26(2):114-118.
Authors:ZHENG Sheng-de
Abstract:Nowadays,TFT-LCD is the most promising display in the field of flat panel display.Some technologies,equipments and materials for the fifth generation TFT-LCD production line has been introduced,furthermore,its developing trends is also described from the viewpoint of the entire industrial chain.
Keywords:TFT-LCD  TAB-IC/OLB
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