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分类号
杂志ISSN号
基体以SnO2 UPF成膜结构的影响
作者姓名:
王巍 潘孝仁
作者单位:
[1]淮北煤炭师范学院物理系 [2]华东理工大学
摘 要:
对不同基体上采用直流气体放电话化反应蒸发沉积法(DC-GDARE)制备的氧化锡超微粒薄膜的晶相结构进行了分析。结果表明:不同的基体对此类薄膜的生长有极重要的影响作用。
关 键 词:
沉积 晶相结构 超微粒薄膜 基体 二氧化锡
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