| 1×32硅基二氧化硅阵列波导光栅的研制 |
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| 引用本文： | 龙文华,李广波,贾科淼,屈红昌,唐衍哲,吴亚明,杨建义,王跃林.1×32硅基二氧化硅阵列波导光栅的研制[J].半导体学报,2005,26(9):1798-1803. |
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| 作者姓名： | 龙文华 李广波 贾科淼 屈红昌 唐衍哲 吴亚明 杨建义 王跃林 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室，中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室，中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室，中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室，中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室，中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室，中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室，中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050，上海200050浙江大学信息与电子工程学系，杭州310027，上海200050浙江大学信息与电子工程学系，杭州310027，上海200050，上海200050浙江大学信息与电子工程学系，杭州310027，上海200050，上海200050浙江大学信息与电子工程学系，杭州310027，上海200050浙江大学信息与电子工程学系，杭州310027 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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上海市应用材料科技合作计划
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教育部科学技术研究项目 |
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| 摘 要： | 采用高精度光刻版、PECVD材料生长、反应离子刻蚀和端面8. 角抛光等技术，设计并研制了1×32硅基二氧化硅阵列波导光栅. 研制的AWG芯片，其相邻通道引起的通道串扰小于-28dB，非相邻通道引入的串扰小于-35dB. 通道的插入损耗在进行光纤耦合封装后进一步提高，平均损耗约为4.9dB，不均匀性约为1.72dB.
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| 关 键 词： | 阵列波导光栅 硅基二氧化硅 光波导 光波分复用器/解复用器 集成光学 |
| 文章编号： | 0253-4177(2005)09-1798-06 |
| 修稿时间： | 2005年2月7日 |
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