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| 氟里昂清洗 | |
| 作者姓名： | 周锦宝 |
| 作者单位： | 高能物理所 |
| 摘 要： | 本文介绍一种无毒清洗剂-三氟三氯乙烷(即氟里昂113)及它的蒸汽去油的优点、清洗装置和清洗结果。 在真空系统中,降低真空零部件表面放气率是获得超高真空的重要条件。所以在真空系统的零部件安装之前,往往要对所有真空零件表面按照不同的材料,安排一定的工艺规范,进行严格的清洗处理。真空零件表面清洗有很多种方法像喷砂、三氯乙烯蒸汽去油、过氯乙烯蒸汽去油、氟里昂蒸汽去油,酸洗、在丙酮或乙醇中超声波清洗、电抛光、在950℃露点氢气中烘烤、在真空炉中烘烤,离子轰击等等。这里只着重介绍一种安全而有效的清洗方法—氟里昂113蒸汽去油… |
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