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硅粉中的杂质Al对三氯氢硅合成转化率和系统运行稳定性的影响
引用本文:平述煌,曾亚龙,李俊朝.硅粉中的杂质Al对三氯氢硅合成转化率和系统运行稳定性的影响[J].中国化工贸易,2014(2):305-305.
作者姓名:平述煌  曾亚龙  李俊朝
作者单位:昆明冶研新材料股份有限公司,云南曲靖655000
摘    要:本文阐述了在三氯氢硅合成工艺中,工业硅粉中的杂质Al含量对三氯氢硅合成转化率和系统运行稳定性的影响,并以实际生产数据为依据,从经济损失的角度需要严格控制其硅粉中的杂质Al含量,以提高生产系统运行的稳定性,降低检修成本。

关 键 词:硅粉    三氯氢硅  转化率  稳定性
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