| 可变波长光纤光栅滤波器用微驱动器的研制 |
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| 引用本文： | 李以贵,佐佐木实,羽根一博. 可变波长光纤光栅滤波器用微驱动器的研制[J]. 微细加工技术, 2003, 0(1): 69-72 |
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| 作者姓名： | 李以贵 佐佐木实 羽根一博 |
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| 作者单位： | 1. 上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海,200030
2. 日本东北大学机械电子系,日本宫城县仙台市980-7985 |
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| 摘 要： | 为了研制可调谐光纤光栅滤波器而采用拉伸装置和光纤光栅一体化的微小器件结构。实现方法是由微细加工技术加工制造一种新的波长可变光纤光栅滤波器用驱动器，该微型驱动器采用电磁式驱动，由上下两层线圈构成，每个线圈有21匝平面线圈，产生约0．2μNm的扭矩，对应光纤光栅的反射波长变化约5nm。它可应用于可谓谐光纤光栅滤波器的驱动。
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| 关 键 词： | 光纤光栅滤波器 微驱动器 微细加工技术 |
| 文章编号： | 1003-8213(2003)01-0069-04 |
| 修稿时间： | 2002-09-02 |
A Micro Actuator for Variable Wavelength Fiber Grating Filter |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | fiber grating filter micro actuator micromaching |
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