激光干涉测长中的数据处理——拨码盘和插补相结合 |
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引用本文: | 张学能.激光干涉测长中的数据处理——拨码盘和插补相结合[J].中国激光,1982,9(3):186-189. |
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作者姓名: | 张学能 |
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作者单位: | 上海第二光学仪器厂 |
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摘 要: | 一、激光干涉测长系统 激光干涉测长系统原理方框图如图土所示。 激光干涉仪是改型的迈克尔逊干涉仪。测量镜位移量L为: L=λ/2 N 式中N为干涉条纹数。经放大整形后的光电讯号代表λ/2。若通过逻辑电路对代表λ/2为计量单元的电讯号再进行四细分,则测量镜位移量L为:
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收稿时间: | 1981/3/9 |
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