用脉冲多弧离子源研制镍铬铁合金膜

介绍了采用脉冲多弧离子源镀制镍铬铁合金膜的新技术，研究了采用这一新技术镀制镍络铁合金膜的镀制工艺，对采用这一新技术氙镀制的镍络铁合金膜进行了性能测试。结果表明：选用合适的工艺参数，采用这一新技术镀制的镍铬铁合金膜膜层均匀，牢固度好，膜层尬发与脉冲多弧离子源阴析靶材成分含量误差小±３％，符合实际应用要求。