| 无热阵列波导光栅的新颖制作方法 |
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| 引用本文： | 周天宏,马卫东.无热阵列波导光栅的新颖制作方法[J].半导体学报,2010,31(1):014005-3. |
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| 作者姓名： | 周天宏 马卫东 |
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| 作者单位： | Accelink;Technologies; |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划 |
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| 摘 要： | 提出了一种制作无热AWG的新颖方法，采用了专利设计的ITU-T中心波长调节装置、简单的方法来耦合被切开两部分、以及毛细渗透的点胶方式。波长调节精度达到1pm。这种无热实现方案没有带来任何光谱恶化，其光谱几乎同原始芯片一样。这种40通道100GHz通道间隔平顶型无热AWG，在-40 to 85℃范围内，中心波长漂移±22pm，插损变化小于±0.11dB。
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| 关 键 词： | 阵列波导光栅 制造方法 光学耦合 中心波长 毛细血管 频谱配置 温度范围 波长变化 |
| 收稿时间： | 4/16/2009 2:38:41 PM |
| 修稿时间： | 7/15/2009 3:24:42 PM |
A novel fabrication approach for an athermal arrayed-waveguide grating |
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| Zhou Tianhong and Ma Weidong.A novel fabrication approach for an athermal arrayed-waveguide grating[J].Chinese Journal of Semiconductors,2010,31(1):014005-3. |
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| Authors: | Zhou Tianhong and Ma Weidong |
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| Affiliation: | Accelink Technologies Co, Ltd, Wuhan 430074, China;Accelink Technologies Co, Ltd, Wuhan 430074, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | AWG optical waveguide filter planar lightwave circuit wavelength division multiplexing |
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