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| SiC基板厂商纷纷开发6英寸产品 | |
| 作者姓名： | 沈熙磊 |
| 摘 要： | 晶圆(基板)左右着SiC功率元件的成本和性能。在ICSCRM上可以看到,很多SiC基板厂商都在着手开发口径6英寸(150mm)的产品。现在生产的功率元件SiC基板的最大口径为4英寸(100mm)。将口径增大到6英寸,有利于提高SiC |
| 关 键 词： | 厂商 功率元件 生产效率 开发 结晶缺陷 产品 基板 英寸 大口径 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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