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沟槽衬底GaAs/AlGaAs DH条形激光器
作者姓名:吴克林  张莲英
作者单位:上海光机所,上海光机所
摘    要:叙述了用化学腐蚀和液相外延相结合的方法制造沟槽衬底条形激光器的工艺。测试了这种激光器的基本性能。结果表明,这种激光器横模比较稳定,扭曲功率较高。自1975年开始,我所与复旦大学协作研制了质子轰击条形激光器,获得了成功。质子轰击条形激光器工艺简单

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