固体相对湿度测量系统

一、引言用单块电路的固体相对湿度(RH)传感系统已验证,这里描述的RH传感系统应用了标准的集成电路(IC)制造工艺,固体敏感元件是用对湿度敏感的聚酰亚胺作介电材料的平行极片电容器。至于湿度对PI电特性的影响之前就有详细阐述,PI在电容湿度传感器中的应用也有研究,把输出电容转换成电压或频率有许多应用,有些地方还介绍了将RH传感系统集成在芯片上的驱动电路,这些电路使用的是CMOS开关电容器技术,我们这里介绍的是电压输出与环境RH成正比的脉宽调制(PWM)电