| 650nm波长低功耗聚合物可变光衰减器的研制 |
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| 引用本文： | 邢桂超,孙静雯,孙仕琦,王希斌,孙小强,王菲,张大明.650nm波长低功耗聚合物可变光衰减器的研制[J].光电子．激光,2015,26(11):2045-2049. |
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| 作者姓名： | 邢桂超 孙静雯 孙仕琦 王希斌 孙小强 王菲 张大明 |
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| 作者单位： | 吉林大学 电子科学与工程学院, 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林省光通信用聚合物波导器件工程 实验室, 吉林 长春 130012;吉林大学 电子科学与工程学院, 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林省光通信用聚合物波导器件工程 实验室, 吉林 长春 130012;吉林大学 电子科学与工程学院, 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林省光通信用聚合物波导器件工程 实验室, 吉林 长春 130012;吉林大学 电子科学与工程学院, 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林省光通信用聚合物波导器件工程 实验室, 吉林 长春 130012;吉林大学 电子科学与工程学院, 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林省光通信用聚合物波导器件工程 实验室, 吉林 长春 130012;吉林大学 电子科学与工程学院, 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林省光通信用聚合物波导器件工程 实验室, 吉林 长春 130012;吉林大学 电子科学与工程学院, 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林省光通信用聚合物波导器件工程 实验室, 吉林 长春 130012 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(61405070,61475061,61177027,61261130586)、中国博士后科学基金( 2015M571362)和吉林大学大学生创新训练计划(2014A5124)资助项目 (吉林大学 电子科学与工程学院, 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林省光通信用聚合物波导器件工程 实验室, 吉林 长春 130012) |
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| 摘 要： | 为了有效改善基于无机材料的可变光衰减器(VO A)功耗大以及成本高的问题,设计并研制了一种基于有 机聚合物材料的低功耗马赫-曾德尔干涉仪(MZI)型VOA器件。为保证器件的单模传输,优 化了波导的结构和横截面 尺寸,同时对加热电极的热场分布进行了模拟分析。最后,采用紫外光刻和湿法刻蚀等半导 体工艺,制备出功耗较低、响应速 度较快的VOA器件。在650nm工作波长下,测得器件的衰减为14.6dB,驱动功率仅为12.3mW,器件的上升时间为 240μs, 下降时间为200μs。实验结果表明,采用聚合物材料,并通过对器 件的结构参数进行优化,可研制出工作在可见光波段的低功耗VOA器件。
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| 关 键 词： | 集成光学 可变光衰减器(VOA) 热光效应 聚合物 |
| 收稿时间： | 9/2/2015 12:00:00 AM |
Design and fabrication of 650nm low-power consumption polymer variable opti cal attenuator |
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| Affiliation: | State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics,Jilin Provincial Engineeri ng Laboratory on Polymer Planar Lightwave Circuits,College of Electronic Science and Engineering,Jilin University,Chang chun 130012,China;State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics,Jilin Provincial Engineeri ng Laboratory on Polymer Planar Lightwave Circuits,College of Electronic Science and Engineering,Jilin University,Chang chun 130012,China;State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics,Jilin Provincial Engineeri ng Laboratory on Polymer Planar Lightwave Circuits,College of Electronic Science and Engineering,Jilin University,Chang chun 130012,China;State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics,Jilin Provincial Engineeri ng Laboratory on Polymer Planar Lightwave Circuits,College of Electronic Science and Engineering,Jilin University,Chang chun 130012,China;State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics,Jilin Provincial Engineeri ng Laboratory on Polymer Planar Lightwave Circuits,College of Electronic Science and Engineering,Jilin University,Chang chun 130012,China;State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics,Jilin Provincial Engineeri ng Laboratory on Polymer Planar Lightwave Circuits,College of Electronic Science and Engineering,Jilin University,Chang chun 130012,China;State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics,Jilin Provincial Engineeri ng Laboratory on Polymer Planar Lightwave Circuits,College of Electronic Science and Engineering,Jilin University,Chang chun 130012,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | integrated optics variable optical attenuator (VOA) thermo-optic effect poly mer |
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