| 不同能量离子束辅助淀积合成氮化铝薄膜的研究 |
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| 引用本文： | 杨杰 王晨. 不同能量离子束辅助淀积合成氮化铝薄膜的研究[J]. 无机材料学报, 1993, 8(3): 316-320 |
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| 作者姓名： | 杨杰 王晨 |
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| 作者单位： | 清华大学材料科学与工程系 北京100084(杨杰，王晨，陶琨)，清华大学材料科学与工程系 北京100084(范玉殿) |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，中关村分析测试基金资助 |
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| 摘 要： |
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| 关 键 词： | 氮化铝 薄膜 离子束 淀积 晶体 |
Polycrystalline AlN Films Prepared by Ion-Beam Assisted Deposition with Different Energy |
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| Yang Jie Wang Chen Tao Kun Fan Yudian. Polycrystalline AlN Films Prepared by Ion-Beam Assisted Deposition with Different Energy[J]. Journal of Inorganic Materials, 1993, 8(3): 316-320 |
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| Authors: | Yang Jie Wang Chen Tao Kun Fan Yudian |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Aluminum nitride Thin film Ion beam assisted deposition Crystalline |
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