| ZnO基氯气传感元件的制备及其气敏性能 |
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| 引用本文： | 潘钟毅,黄世震. ZnO基氯气传感元件的制备及其气敏性能[J]. 功能材料与器件学报, 2008, 14(1): 43-46 |
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| 作者姓名： | 潘钟毅 黄世震 |
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| 作者单位： | 福州大学气敏传感器研究所,福州,350002;福建省微电子集成电路重点实验室,福州,350002;福州大学气敏传感器研究所,福州,350002;福建省微电子集成电路重点实验室,福州,350002 |
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| 摘 要： | 以硝酸锌和氨水为反应物,采用沉淀法制备ZnO纳米粉体.通过X射线衍射仪和透射电镜对其进行分析,结果表明,制得的ZnO颗粒为球形,粒径较小,在20nm左右,为六方形纤锌矿结构.通过掺杂In2O3,大大提高元件对氯气的气敏特性.实验表明,该元件对体积分数为20×10-6的氯气,灵敏度可达301,响应时间2秒,恢复时间在110秒左右,具有高选择性.
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| 关 键 词： | 氧化锌 氯气传感器 气敏 |
| 文章编号： | 1007-4252(2008)01-0043-04 |
| 修稿时间： | 2007-07-20 |
Preparation and sensitive characteristics of ZnO- based chlorine gas sensor |
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| PAN Zhong-yi,HUANG Shi-zhen. Preparation and sensitive characteristics of ZnO- based chlorine gas sensor[J]. Journal of Functional Materials and Devices, 2008, 14(1): 43-46 |
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| Authors: | PAN Zhong-yi HUANG Shi-zhen |
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