| 高次谐波体声波谐振器的频率修正方法研究 |
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| 引用本文： | 肖佩芸,李鉴,郑天,田裕康,程建政. 高次谐波体声波谐振器的频率修正方法研究[J]. 压电与声光, 2019, 41(6): 789-792 |
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| 作者姓名： | 肖佩芸 李鉴 郑天 田裕康 程建政 |
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| 作者单位： | （1.武汉纺织大学 电子与电气工程学院，湖北 武汉 430200；2.中国科学院声学研究所 声场声信息国家重点实验室，北京 100190） |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(11804256)；中国科学院重点部署基金资助项目(QYZDY SSW JSC007) |
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| 摘 要： | 基于高次谐波体声波谐振器(HBAR)的一维纵向振动模型,研究了获得工作在某一谐振频率HBAR的几种频率修正方法,即减薄基底或顶电极,或在其表面沉积薄膜,并讨论了频率修正前后其有效机电耦合系数(K■)和机械品质因数(Q_M)的变化情况。结果表明,对于该文结构的HBAR,减薄基底的频率修正方法最佳,其对K■和Q_M的影响最小;若选择沉积薄膜法进行频率修正,其对K■的影响不大,但对Q_M的影响较大,故宜选择沉积低损耗的材料。
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| 关 键 词： | 高次谐波体声波谐振器 谐振频谱 有效机电耦合系数 机械品质因数 频率修正 |
Study on Frequency Correction Method of High overtone Bulk Acoustic Resonator |
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| XIAO Peiyun,LI Jian,ZHENG Tian,TIAN Yukang,CHENG Jianzheng. Study on Frequency Correction Method of High overtone Bulk Acoustic Resonator[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2019, 41(6): 789-792 |
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| Authors: | XIAO Peiyun LI Jian ZHENG Tian TIAN Yukang CHENG Jianzheng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | high overtone bulk acoustic resonator resonance frequency spectrum effective electromechanical coupling coefficient mechanical quality factor frequency correction |
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