| 基于ZnO/AlN/金刚石温补结构的研究 |
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| 引用本文： | 文武,刘传浩.基于ZnO/AlN/金刚石温补结构的研究[J].压电与声光,2019,41(6):802-805. |
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| 作者姓名： | 文武 刘传浩 |
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| 作者单位： | （1. 重庆邮电大学 通信与信息工程学院，重庆 400065；2. 重庆邮电大学 通信新技术应用研究中心，重庆 400065；
3.重庆信科设计有限公司，重庆 401121） |
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| 摘 要： | 使用COMSOL软件对ZnO/AlN/金刚石温度补偿结构进行建模分析,计算了该结构Love波模式0和模式1的频率温度系数(TCF)、声速(v)和机电耦合系数(k~2),且讨论了ZnO薄膜厚度h_(ZnO)和AlN薄膜厚度h_(AlN)对这些参数的影响。结果表明,当h_(ZnO)=1μm,h_(AlN)=1.88μm时,温度补偿结构Love波模式1的TCF=0,v=9 208 m/s,k~( 2)=3.84%,说明这种温度补偿结构能应用在高频和温度补偿声表面波器件中。
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| 关 键 词： | 频率温度系数(TCF) 机电耦合系数(k~2) COMSOL Love波 |
Research on Temperature compensated Structure Based on ZnO/AlN/Diamond |
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| WEN Wu,LIU Chuanhao.Research on Temperature compensated Structure Based on ZnO/AlN/Diamond[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2019,41(6):802-805. |
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| Authors: | WEN Wu LIU Chuanhao |
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| Affiliation: | (1.School of Communication and Information Engineering,Chongqing University of Posts and Telecommunications,Chongqing 400065,China;
2.Research Center of New Telecommunication Technology Applications, Chongqing University of Posts and Telecommunications,Chongqing 400065, China;
3.Chongqing Information Technology Designing Company Limited, Chongqing 401121, China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | requency temperature coefficient(TCF) electromechanical coupling coefficient(k2) COMSOL Love wave |
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