| 基于硅基槽型微环谐振器的集成生物传感器 |
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| 引用本文： | 谭志荣,洪忆霄,过海峰,葛华,洪建勋. 基于硅基槽型微环谐振器的集成生物传感器[J]. 光电子．激光, 2019, 30(8): 779-784 |
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| 作者姓名： | 谭志荣 洪忆霄 过海峰 葛华 洪建勋 |
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| 作者单位： | 武汉理工大学 航运学院,湖北 武汉,430063;湖北工业大学 电气与电子工程学院,湖北 武汉,430068;武汉理工大学 信息工程学院,湖北 武汉,430070 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金青年基金(61301167),教育部留学回国人员科研启动基金(13693)资助项目 (1.武汉理工大学 航运学院,湖北 武汉 430063; 2.湖北工业大学 电气与电子工 程学院,湖北 武汉 430068, 3.武汉理工大学 信息工程学院,湖北 武汉 430070) |
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| 摘 要： | 本文对一种基于槽型微环谐振器的生物传感器进 行了研究,通过微环谐振器与槽型波导的结合,增强光与传感媒质的相互作用,减小传输损 耗的制约影响。采用时域有限差分法(FDTD) 研究了波导有效折射率随传感物质材料折射率的变化,结果显示它们呈线性关系,这为折射 率的 有效传感提供了可能。采用电子束光刻和等离子体刻蚀技术在SOI基片上制备了样品,SOI 基片 的顶层硅和埋入氧化层的厚度分别为220 nm和2μm,微环谐振器的 微环半径为30 μm。采用波 导光栅耦合器来实现光的输入和输出,频谱测量显示槽型微环谐振器的品质因数达到了2940, 通过测量传感器表面覆盖不 同浓度的氯化钠溶液时光谱谢振峰的变化,得到传感器的灵敏度 和检测极限分别为980.24 nm/RIU和5.4×10－4 RIU。
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| 关 键 词： | 生物传感 硅基槽型波导 微环谐振器 灵敏度 检测极限 |
| 收稿时间： | 2019-03-10 |
Compact integrated biosensors based on the Silicon slot microring resonator |
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| TAN Zhi-rong,HONG Yi-xiao,GUO Hai-feng,GE Hua and HONG Jian-xun. Compact integrated biosensors based on the Silicon slot microring resonator[J]. Journal of Optoelectronics·laser, 2019, 30(8): 779-784 |
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| Authors: | TAN Zhi-rong HONG Yi-xiao GUO Hai-feng GE Hua HONG Jian-xun |
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| Affiliation: | School of Navigation,Wuhan University of Technology,Wuhan 430063,China,School of Electrical and Electronic Engineering,Hubei University of Technology,Wuhan 430068,China,School of Information Engineering,Wuhan University of Technology,Wuhan 430070,Ch ina,School of Information Engineering,Wuhan University of Technology,Wuhan 430070,Ch ina and School of Information Engineering,Wuhan University of Technology,Wuhan 430070,Ch ina |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | biosensor silicon slot waveguide microring resonator sensitivity limit of de tection |
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