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| 硅中金杂质分布的测量 | |
| 作者姓名： | 周洁 王杏华 李树英 |
| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所(周洁，王杏华)，中国科学院半导体研究所(李树英) |
| 摘 要： | <正> 本文利用电容瞬态法,测量了扩金工艺制备的二极管中金杂质的分布.由泊松方程已知,从电容瞬态法得到的△C可表示为: |
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