| 激光表面粗糙度测量仪的研制 |
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| 引用本文： | 王世华,周肇飞,周卫东,迟桂纯.激光表面粗糙度测量仪的研制[J].四川大学学报(工程科学版),1995(3). |
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| 作者姓名： | 王世华 周肇飞 周卫东 迟桂纯 |
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| 作者单位： | 成都科技大学机械工程系 |
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| 基金项目： | 四川省重点科学技术资助 |
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| 摘 要： | 激光表面粗糙度测量仪利用半导体激光器为光源，激光束投射到试件表面经微观形貌调制而形成散射场，根据对散射场分布的处理测量表面粗糙度。接收半散射带的方法处理散射光分布，测量对试件的放置位置要求低（允许的最大倾斜度Ｘ向±２°，ｙ向±５°，测量距离偏差限为±２ｍｍ）；测量范围Ｒａ从０．００５μｍ到２μｍ，配置附件可对有特殊形面的试件和内表面的粗糙度进行测量．
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| 关 键 词： | 表面粗糙度 半导体激光器 散射光带 |
Research on Laser Surface Roughometer |
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| Wang Shihua,Zhou Zhaofei,Zhou Weidong,Chi Guichun.Research on Laser Surface Roughometer[J].Journal of Sichuan University (Engineering Science Edition),1995(3). |
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| Authors: | Wang Shihua Zhou Zhaofei Zhou Weidong Chi Guichun |
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| Affiliation: | Wang Shihua;Zhou Zhaofei;Zhou Weidong;Chi Guichun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | s: surface roughness measurment Laser-diode light scatteringband |
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