| 薄膜生长初期形貌的计算机模拟与改进 |
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| 引用本文： | 刘涌,宋晨路,韩高荣. 薄膜生长初期形貌的计算机模拟与改进[J]. 材料科学与工程学报, 2002, 20(3): 393-395 |
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| 作者姓名： | 刘涌 宋晨路 韩高荣 |
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| 作者单位： | 浙江大学材料与化工学院,浙江,杭州,310027 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 (69890 2 3 059872 0 2 9)，教育部优秀青年教师基金资助项目 |
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| 摘 要： | 本文模拟了在低温基底上超薄膜沉积初期表面形貌。文章模拟多个沉积原子同时移动的生长过程 ,引入了宏观量沉积流量影响。在此基础上讨论了各向异性的影响作用 ,并改进了模型 ,修改了基底吸附位置的排列方式 ,从而获得了与实验结果更相近的图样
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| 关 键 词： | 计算机模拟 初期形貌 沉积流量 |
| 文章编号： | 1004-793X(2002)03-0393-03 |
| 修稿时间： | 2001-12-17 |
Simulation and Improvement of the Appearance of the Film Growth in Early Stage |
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| LIU Yong,SONG Chen lu,HAN Gao rong. Simulation and Improvement of the Appearance of the Film Growth in Early Stage[J]. Journal of Materials Science and Engineering, 2002, 20(3): 393-395 |
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| Authors: | LIU Yong SONG Chen lu HAN Gao rong |
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| Abstract: | In this paper,the appearance of the film growth in early stage is simulated.In order to solute the problem that the motion of ploy atoms cannot be simulated,the new arithmetic is introduced.The effect of the anisotropism diffusion is discussed.Based on the new model,the results of the simulations are consisten with the experiments. |
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| Keywords: | computer simulation appearance in early stage flux |
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