碳化硅材料热扩散系数的外推法应用研究

随着计算机技术、微电子技术和激光技术的快速发展，为实现非稳态法中的激光闪光法测量提供了良好的技术支持。本文利用NETZSCH LFA 427设备在室温环境下，通过改变电压强度和脉冲宽度的值，得到一系列碳化硅材料的等效热扩散系数，通过外推法得到样品的固有热扩散系数。其次，探究了碳化硅样品厚度对热扩散系数测量结果的影响，从热穿透深度的角度解释了不同厚度样品测量结果偏差的原因，并给出了样品厚度的选择原则。同时解释了在高脉冲积分下，测得样品热扩散系数结果偏小的原因，由此可说明，通过实验测量和理论外推相结合的方法，得到了更准确的热扩散系数结果。