测厚仪的测量方法及测量不确定度

１　测量方法及原理框图用标准厚度片按仪器规定的校准方法将仪器校准，然后在测量范围内均布３～５个点为受检点，选择相应厚度及精度的厚度片Ｈｉ（ｉ＝１，２，３，…５）依次检定，示值误差按下式计算：δ＝ｈｉ－Ｈｉ式中　ｈｉ—该测量点示值；Ｈｉ—标准厚度片值。２　测量结果的不确定度分析取分度值为０１μｍ，在５０２μｍ处重复测１０次。２１　测量结果的Ａ类标准不确定度由贝塞尔公式Ｓ＝∑ｎｉ＝１（ｌｉ－珋ｌ）２ｎ－１得ｕ（ｈ）＝０１４μｍ，自由度≤Ａ＝ｎ－１＝９。由数学公式求偏导Ｃｈ＝１。２２　测量结…