SZB-1000型悬臂式三座标测量机研制技术的探讨

SZB-1000型悬臂式三座标测量机是我们自行研制的高效率的生产型精密测量仪器。该仪器测量范围为,x向930mm,y向450mm,z向250mm;测量标准器采用每毫米25线的金属反射光栅,分辨率为2μm;各向测量的不确定性±10μm;单点测量重复性小于±1μm。本文就研制该仪器中的某些技术问题作大略介绍。