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具有90nm调谐范围的1.3μm Si基MOEMS可调谐光滤波器
引用本文:左玉华,黄昌俊,成步文,蔡晓,毛容伟,李传波,罗丽萍,高俊华,白云霞,姜磊,马朝华,朱家廉,王良臣,余金中,王启明. 具有90nm调谐范围的1.3μm Si基MOEMS可调谐光滤波器[J]. 半导体学报, 2003, 24(11): 1140-1144
作者姓名:左玉华  黄昌俊  成步文  蔡晓  毛容伟  李传波  罗丽萍  高俊华  白云霞  姜磊  马朝华  朱家廉  王良臣  余金中  王启明
作者单位:中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,北京100083
基金项目:国家重点基础研究发展规划(No.G2 0 0 0 0 3 660 3 ),国家自然科学基金(批准号:9610 40 0 3 ),国家高技术研究发展计划 (No.2 0 0 2 AA3 12 0 10 )资助项目~~
摘    要:利用表面微机械技术,成功制作了1.3μm Si基MOEMS可调谐光滤波器.原型器件在5 0 V的调谐电压下,调谐范围为90 nm.该技术可以用于制作1.3μm Si基可调谐光探测器.

关 键 词:MOEMS   可调谐滤波器   Fabry-Perot   表面微机械技术

1.3μm Si-Based MOEMS Optical Tunable Filter with a Tuning Range of 90nm
Zuo Yuhua,Huang Changjun,Cheng Buwen,Cai Xiao,Mao Rongwei,Li Chuanbo,Luo Liping,Gao Junhua,Bai Yunxia,Jiang Lei,Ma Chaohua,Zhu Jialian,Wang Liangchen,Yu Jinzhong,Wang Qiming. 1.3μm Si-Based MOEMS Optical Tunable Filter with a Tuning Range of 90nm[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2003, 24(11): 1140-1144
Authors:Zuo Yuhua  Huang Changjun  Cheng Buwen  Cai Xiao  Mao Rongwei  Li Chuanbo  Luo Liping  Gao Junhua  Bai Yunxia  Jiang Lei  Ma Chaohua  Zhu Jialian  Wang Liangchen  Yu Jinzhong  Wang Qiming
Abstract:
Keywords:MOEMS  Fabry Perot  tunable filter  surface micromaching
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