|
|||||
|
|
| 卷绕式海绵材料真空磁控溅射镀膜设备的研制 | |
| 引用本文： | 魏海波,孙清,张君薇,池世春.卷绕式海绵材料真空磁控溅射镀膜设备的研制[J].真空,2007,44(4):33-35. |
| 作者姓名： | 魏海波 孙清 张君薇 池世春 |
| 作者单位： | 1. 辽宁装备制造职业技术学院,辽宁,沈阳,110164 2. 沈阳药科大学高等职业技术学院,辽宁,沈阳,110026 3. 中科院沈阳自动化研究所现代装备研究设计中心,辽宁,沈阳,110016 |
| 摘 要： | 本文介绍了海绵卷绕真空磁控溅射镀膜设备的结构及其特点，采用独特的传动机构，靶极结构及控制方式实现了海绵连续卷绕真空磁控溅射镀膜。 |
| 关 键 词： | 泡沫镍 磁控溅射 海绵 卷绕系统 |
| 文章编号： | 1002-0322（2007）04-0033-03 |
| 修稿时间： | 2006-11-22 |
R&D of vacuum magnetron sputtering coating system for coiled sponge metallization |
|
| WEI Hai-bo,SUN Qing,ZHANG Jun-wei,CHI Shi-chun.R&D of vacuum magnetron sputtering coating system for coiled sponge metallization[J].Vacuum,2007,44(4):33-35. | |
| Authors: | WEI Hai-bo SUN Qing ZHANG Jun-wei CHI Shi-chun |
| Abstract: | Describes the construction and characteristics of the vacuum magnetron sputtering system we developed to doposit metallic thin film on coiled sponge surface, to which the drive system, target and control method were specially designed. |
| Keywords: | foam nickel magnetron sputtering sponge coiling system |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ | |