| 基于新型非周期高对比度亚波长光栅光电探测器 |
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| 引用本文： | 杨晓伟,王明红,范鑫烨,于传洋.基于新型非周期高对比度亚波长光栅光电探测器[J].光电子．激光,2020,31(7):701-707. |
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| 作者姓名： | 杨晓伟 王明红 范鑫烨 于传洋 |
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| 作者单位： | 聊城大学 物理科学与信息工程学院,山东省光通信科学与技术重点实验室,山东 聊城 252000,聊城大学 物理科学与信息工程学院,山东省光通信科学与技术重点实验室,山东 聊城 252000,聊城大学 物理科学与信息工程学院,山东省光通信科学与技术重点实验室,山东 聊城 252000,聊城大学 物理科学与信息工程学院,山东省光通信科学与技术重点实验室,山东 聊城 252000 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(11375081)资助项目 (聊城大学 物理科学与信息工程学院,山东省光通信科学与技术重点实验室,山东 聊城 252000) |
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| 摘 要： | 本文提出了一种基于新型非周期高对比度亚波长 光栅(High Contrast Subwavelength Grating,HCSG)的谐振腔 增强型(Resonant Cavity Enhanced,RCE)光电探测器(Photodetector,PD),该器件是由顶 部光栅型上反射镜、PIN光探 测结构和分布式布拉格下反射镜(Distributed Bragg Reflectors,DBR)组成。新型非周期HC SG上反射镜是由局部湿法 氧化后形成的Al2O3间隔层和非周期GaAs光栅组成,实现了850 n m波段TM模式偏振光的高反射会聚特性,反射 率达到了86.5%且在1.5 μm焦距处实现了光束 会聚。下反射镜是由周期GaAs光栅和GaAs/Al0.9Ga0.1As DBR组成, 周期GaAs光栅对入射光有偏振选择特性,对TM模式的偏振光透射率为96.1%,而对TE模式的偏振光透射率仅有 3.7%。该器件利用了传输矩阵理论方法仿真模拟了其量子效率,量子 效率达到了71.8%,半高全宽接近于0.1 nm。 有效的解决了光电探测器的高量子效率和高响应带宽相互制约的问题,为下一代光通信系统 的发展提供了良好的基础。
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| 关 键 词： | 非周期亚波长光栅 光电探测器 偏振选择 反射会聚 |
| 收稿时间： | 2020/6/7 0:00:00 |
Based on a new type of non periodic high contrast sub wavelength grating pho |
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| YANG Xiao-wei,WANG Ming-hong,FAN Xin-ye and YU Chuan-yang.Based on a new type of non periodic high contrast sub wavelength grating pho[J].Journal of Optoelectronics·laser,2020,31(7):701-707. |
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| Authors: | YANG Xiao-wei WANG Ming-hong FAN Xin-ye and YU Chuan-yang |
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| Affiliation: | School of Physics Science and Information Engineering,Liaocheng University, Shandong Key Laboratory of Optical Communication Science and Technology,Liaochen g,Shandong,252000,School of Physics Science and Information Engineering,Liaocheng University, Shandong Key Laboratory of Optical Communication Science and Technology,Liaochen g,Shandong,252000,School of Physics Science and Information Engineering,Liaocheng University, Shandong Key Laboratory of Optical Communication Science and Technology,Liaochen g,Shandong,252000 and School of Physics Science and Information Engineering,Liaocheng University, Shandong Key Laboratory of Optical Communication Science and Technology,Liaochen g,Shandong,252000 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | non-periodic sub-wavelength grating photodetector polarization selection re flection convergence |
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