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| 黑磷纳机电谐振器的栅极响应有限元分析 | |
| 作者姓名： | 程屹山 刘文耀 李伟 唐军 刘俊 |
| 摘 要： | 纳机电系统因其体积小、批量制造、高可靠性和低功耗等性能得到了广泛的关注与开展,其中,纳机电谐振器因具有高频、高可调谐性而显示出了巨大的应用前景.利用有限元分析法(FEM),对基于黑磷材料的纳机电谐振器的栅极可调谐性进行了详细的研究,通过改变黑磷的内置张力、吸附物的质量、厚度、空腔深度以及固定边的方向,探究了其对谐振器的... |
| 关 键 词： | 纳机电谐振器 黑磷 有限元 谐振频率 |
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