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| 氮气流量对高功率脉冲磁控溅射CrNx/CrC复合镀层耐蚀性能的影响 | |
| 作者姓名： | 向君 曹悦悦 梅屹峰 王卓然 |
| 作者单位： | 1. 西安理工大学;2. 西安理工大学材料学院 |
| 摘 要： | 利用高功率脉冲磁控溅射(high power impulse magnetron sputtering, HiPIMS)在单晶硅和304不锈钢基底上制备了CrNx/CrC复合镀层，并通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)以及浸泡法对其形貌结构、物相及耐蚀性能进行了分析，研究了氮气流量对CrNx/CrC复合镀层微观组织形貌和耐蚀性能的影响。结果表明：Cr靶在200 Hz、占空比为6%的电场条件下可以形成稳态的高功率脉冲放电；CrNx/CrC复合镀层表面由不规则的球形颗粒堆积组成，均匀紧密；CrNx/CrC复合镀层呈柱状生长，且截面可明显观察到较明显的分层界面，分别是CrC层和CrNx层；受Ar+刻蚀作用减弱的影响，随着氮气流量的增加，CrNx/CrC复合镀层的厚度和平均沉积速率先略微增加，之后再明显减小；随着氮气流量的增加，CrNx/CrC复合镀层的致密度有所增加；当氮气流量为60 mL·min |
| 关 键 词： | 高功率脉冲磁控溅射 CrNx/CrC复合镀层 氮气流量 微观结构 耐蚀性能 |