| AZO透明导电薄膜光电性能的研究进展 |
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| 引用本文： | 张程,代明江,石倩,代建清. AZO透明导电薄膜光电性能的研究进展[J]. 材料导报, 2016, 30(Z1): 228-234 |
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| 作者姓名： | 张程 代明江 石倩 代建清 |
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| 作者单位： | 昆明理工大学材料科学与工程学院, 昆明 650000;广州有色金属研究院新材料研究所, 广州 510651;广东省现代表面工程技术重点实验室, 广州 510651;现代材料表面工程技术国家工程实验室, 广州 510651,广州有色金属研究院新材料研究所, 广州 510651;广东省现代表面工程技术重点实验室, 广州 510651;现代材料表面工程技术国家工程实验室, 广州 510651,广州有色金属研究院新材料研究所, 广州 510651;广东省现代表面工程技术重点实验室, 广州 510651;现代材料表面工程技术国家工程实验室, 广州 510651,昆明理工大学材料科学与工程学院, 昆明 650000 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(51302044);广东省金属平台创新建设(2013B091602002) |
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| 摘 要： | 掺铝氧化锌(AZO)薄膜其原料来源广、经济无毒,且具有优越的光电性能,可以与传统铟锡氧化物(ITO)薄膜相媲美,是优良的透明导电材料。目前,关于各制备工艺参数对AZO薄膜的影响规律及其影响机理仍是研究热点。综述了透明导电AZO薄膜光学与电学性能的研究进展,讨论了各制备工艺条件对薄膜性能的影响,分析了AZO/metal/AZO多层膜的研究现状,并对AZO薄膜的研究方向给予了展望。
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| 关 键 词： | AZO薄膜 磁控溅射 光电性能 AZO/metal/AZO多层膜 |
Research Development of Optical and Electrical Properties of AZO Transparent Conducting Thin Films |
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| ZHANG Cheng,DAI Mingjiang,SHI Qian and DAI Jianqing. Research Development of Optical and Electrical Properties of AZO Transparent Conducting Thin Films[J]. Materials Review, 2016, 30(Z1): 228-234 |
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| Authors: | ZHANG Cheng DAI Mingjiang SHI Qian DAI Jianqing |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | AZO thin film magnetron sputtering photoelectric properties AZO/metal/AZO multilayer film |
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