| 磁控溅射法制备掺杂ZnO透明导电薄膜及其研究进展 |
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| 引用本文： | 段光申,丁春华,姜宏,汪国庆,王红燕,那聪.磁控溅射法制备掺杂ZnO透明导电薄膜及其研究进展[J].材料导报,2016,30(Z1):235-240. |
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| 作者姓名： | 段光申 丁春华 姜宏 汪国庆 王红燕 那聪 |
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| 作者单位： | 海南大学材料与化工学院,海南省特种玻璃重点实验室, 海口 570228,海南大学材料与化工学院,海南省特种玻璃重点实验室, 海口 570228,海南大学材料与化工学院,海南省特种玻璃重点实验室, 海口 570228,海南大学材料与化工学院,海南省特种玻璃重点实验室, 海口 570228,海南大学材料与化工学院,海南省特种玻璃重点实验室, 海口 570228,海南大学材料与化工学院,海南省特种玻璃重点实验室, 海口 570228 |
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| 基金项目： | 科技部国家支撑计划(2013BAE03B02);海南省科技厅重大科研专项(ZDZX2013002) |
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| 摘 要： | 磁控溅射技术以其显著的优点已成为工业镀膜主要技术之一。充分发挥磁控溅射镀膜技术的现有优势,寻找新的增长点,成为近年来人们研究的热点。介绍了磁控溅射镀膜技术的原理、特点;总结了近来磁控溅射法制备掺杂ZnO薄膜,主要是Al掺杂、Si掺杂、Al-H共掺杂ZnO薄膜的研究进展。并在此基础上对掺杂ZnO透明导电薄膜的发展趋势进行了展望。
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| 关 键 词： | 磁控溅射 ZnO透明导电薄膜 掺杂 |
Research Progress on Preparation of Doped ZnO Transparent Conductive Film by Magnetron Sputtering Method |
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| DUAN Guangshen,DING Chunhu,JIANG Hong,WANG Guoqing,WANG Hongyan and NA Cong.Research Progress on Preparation of Doped ZnO Transparent Conductive Film by Magnetron Sputtering Method[J].Materials Review,2016,30(Z1):235-240. |
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| Authors: | DUAN Guangshen DING Chunhu JIANG Hong WANG Guoqing WANG Hongyan and NA Cong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | magnetron sputtering technique ZnO transparent conductive thin film doping |
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