离子注入在金属材料中的应用及分析 |
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引用本文: | 谢中应,涂有模,乔墉,林成鲁.离子注入在金属材料中的应用及分析[J].机械工程材料,1981(5). |
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作者姓名: | 谢中应 涂有模 乔墉 林成鲁 |
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作者单位: | 上海材料研究所
(谢中应,涂有模),上海冶金研究所
(乔墉),上海冶金研究所(林成鲁) |
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摘 要: | 在真空系统中利用加速器把电离的阳离子加速后,打入金属材料的表层内,以改变材料表面的物理化学性能的离子注入新技术,在材料科学研究中具有广阔的前途。国际上对金属表面离子注入的研究十分活跃,连续召开过“离子束材料改性”及“离子束分析”国际学术会议。离子注入的优点在于对任何元素的离子都可以利用注入技术,不受合金系统平衡相图的限制;可以获得其它常规方法无法制备的新型合金;注入层与基体材料之间无界面存在;注入后金属表面的光洁度和尺寸精度不变;注入的能量和剂量可以精确控制。离子注入使材料表面改性,包括化学改性,物理
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