| 一种用扫描电镜制作表面纳米结构的方法 |
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| 引用本文： | 朱念麟,张晋,陈尔纲,柏晗,张茜,王光灿,郭俊梅,窦菊英.一种用扫描电镜制作表面纳米结构的方法[J].半导体学报,2006,27(z1):186-188. |
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| 作者姓名： | 朱念麟 张晋 陈尔纲 柏晗 张茜 王光灿 郭俊梅 窦菊英 |
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| 作者单位： | 云南大学物理系,昆明,650091;贵研铂业股份有限公司,昆明,650221 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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云南省自然科学基金
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北京市重点实验室基金 |
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| 摘 要： | 提出了一种用扫描电镜制作表面量子点、纳米孔和纳米线阵列的方法,该方法是在数字式扫描电镜的阴极自偏压电路中串联一个可控的负电压发生器,其内阻远小于自偏压电阻;用扫描电镜本身的行扫描时钟信号作为控制信号,经倍频和放大,加到电子枪栅极上控制电子束的通断,使电子束由连续扫描变为规则的点、线扫描,不需用模板即可以"直写"方式在涂有电子束光刻胶(PMMA)的样品上实现点、线曝光,形成周期性量子点、纳米孔和纳米线阵列.
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| 关 键 词： | 数字式扫描电镜 负电压发生器 表面纳米阵列 电子束刻蚀 |
| 文章编号： | 0253-4177(2006)S0-0186-03 |
| 修稿时间： | 2005年12月17日 |
Fabrication of Surface Nanostructures Using Scanning Electron Microscope |
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| Zhu Nianlin,Zhang Jin,Chen Ergang,Bai Han,Zhang Xi,Wang Guangcan,Guo Junmei,Dou Juying.Fabrication of Surface Nanostructures Using Scanning Electron Microscope[J].Chinese Journal of Semiconductors,2006,27(z1):186-188. |
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| Authors: | Zhu Nianlin Zhang Jin Chen Ergang Bai Han Zhang Xi Wang Guangcan Guo Junmei Dou Juying |
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| Keywords: | |
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