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| GLSI阻挡层钉化学机械抛光去除速率的控制 | |
| 引用本文： | 栾晓东,刘玉岭,王辰伟,牛新环,王娟,张文倩.GLSI阻挡层钉化学机械抛光去除速率的控制[J].微纳电子技术,2016(5):326-332. |
| 作者姓名： | 栾晓东 刘玉岭 王辰伟 牛新环 王娟 张文倩 |
| 作者单位： | 河北工业大学电子信息工程学院 |
| 摘 要： | |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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