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杂志ISSN号
供激光器用的真空泵
作者姓名:
从征
作者单位:
从征
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摘 要:
在小型激光器系统中,是用油封机械泵给循环的工作气体连续抽气,使其在冷却和纯化之后回到激光器。对于较大的激光器,是用罗茨泵来维持总气流,但油封机械泵仍然需要,用以提供预备真空并连续抽掉辅助气体流,以便除去不要的气体分子,使纯化后的气体以任意必要的组分返回激光器。
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