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| 薄膜制备技术中溶胶-凝胶工艺研究 | |
| 作者姓名： | 韩德强 李勇 |
| 作者单位： | 江西理工大学材料与化学工程学院,赣州,341000;江西理工大学材料与化学工程学院,赣州,341000 |
| 摘 要： | 综述了溶胶-凝胶工艺在薄膜制备技术中的现状和技术动态、溶胶-凝胶工艺的成膜理论和成膜工艺对薄膜工业发展的促进,并简要提出了溶胶-凝胶薄膜工艺影响薄膜厚度的因素和存在的主要技术问题. |
| 关 键 词： | 溶胶-凝胶法 成膜理论 成膜工艺 发展现状 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |
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