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| RF功率MOSFET产品及其工艺开发 | |
| 作者姓名： | 蔡丽霞 张健亮 陈铭 周明江 |
| 作者单位： | 上海贝岭股份有限公司先进微电子器件事业部 |
| 摘 要： | 本文简述了RF功率MOSFET器件的应用,分析了以LDMOSFET工艺为基础的RF功率MOSFET的功能特性、产品结构和制造工艺特点。文中结合6寸芯片生产线,设计了产品的制造工艺流程,分析了制造工艺的难点,并提出了解决方案。 |
| 关 键 词： | RF功率MOSFET LDMOSFET 器件结构 制造工艺 |
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