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| 高温抗氧化硬质TiAlN镀膜工艺及其应用 | |
| 引用本文： | 杨礼萍.高温抗氧化硬质TiAlN镀膜工艺及其应用[J].热处理,1994(4). |
| 作者姓名： | 杨礼萍 |
| 作者单位： | 上海市机械制造工艺研究所 |
| 摘 要： | 氮化铁、碳化钛和氧化铝硬质涂层是广泛用于改善高速钢和硬质合金刀具使用性能和产量的涂层材料，然而在三元氯化物方面研究得还很少。本文主要研究在我所原有的3FJ－40A三极反应溅射氮化钛设备上制备TiAlN三元氮化物涂层的工艺及涂层的成份、性能及其应用。一、简介用PVD法（物理气相沉积法）沉积的TiN薄膜已被确认对高速钢切削刀具、成形刀具是非常有用的，且作为耐磨耐腐蚀的表壳、表带及眼镜架装饰镀膜也非常有用。用离子效应沉积薄膜的各种方法在工业上都获得了成功。我所的TiN涂层设备及工艺在工业生产上也获得了可观的效果。但… |
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