| 微表面形貌大视场检测相移显微干涉仪研制 |
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| 引用本文： | 张红霞,张以谟,井文才,李朝辉,周革,朱蔚.微表面形貌大视场检测相移显微干涉仪研制[J].光电子．激光,2006,17(8):934-936. |
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| 作者姓名： | 张红霞 张以谟 井文才 李朝辉 周革 朱蔚 |
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| 作者单位： | 天津大学精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072 |
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| 基金项目： | 中国科学院资助项目;国家重点基础研究发展计划(973计划);新世纪优秀人才支持计划 |
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| 摘 要： | 基于相移干涉术,研制了立式大视场Mirau相移显微干涉仪,它包括干涉成像和照明系统、竖直方向上的压电陶瓷传感器(PZT)微位移系统、被测面的两维扫描系统、图像采集和处理系统,是无限筒长显微镜结构和Mirau干涉结构的叠加。大视场表面形貌通过多孔径扫描拼接实现。单片机串口控制电路控制电控平移台的精确位移,实现了被测面的两维扫描,最小的横向位移为0.039μm,扩展后的视场达到12.5mm×12.5mm。测量了光纤连接器端面的表面形貌,重复测量精度小于2nm。
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| 关 键 词： | 相移干涉术 显微干涉术 压电陶瓷传感器(PZT) 多孔径拼接 表面形貌 |
| 文章编号： | 1005-0086（2006）08-0934-03 |
| 收稿时间： | 2005-10-12 |
| 修稿时间： | 2005-10-122006-02-22 |
A Large Field Phase Shifting Interference Microscope for Surface Topography Measurement |
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| ZHANG Hong-xi,ZHANG Yi-mo,JING Wen-cai,LI Zhao-hui,ZHOU Ge,ZHU Wei.A Large Field Phase Shifting Interference Microscope for Surface Topography Measurement[J].Journal of Optoelectronics·laser,2006,17(8):934-936. |
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| Authors: | ZHANG Hong-xi ZHANG Yi-mo JING Wen-cai LI Zhao-hui ZHOU Ge ZHU Wei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | phase shifting interferometry interference microscopy piezoelectric transducer(PZT) multi-aperture stitching surface topography |
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