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| 激光诱导光致抗蚀剂的固化反应 | |
| 作者姓名： | 金桂林 潘孝仁 |
| 作者单位： | 华东化工学院(金桂林，潘孝仁，金晓英，金乾元)，华东化工学院(施善定) |
| 摘 要： | 用N_2激光337.1nm谱线辐照,能有效地引发顺酐型和环氧型不饱和聚酯树脂组成的光致抗蚀剂的固化反应。用付立叶交换红外光谱法跟踪反应动力学过程,并用溶解试验检验固化效果。讨论了反应转化率,反应速率与引发剂浓度的关系。 |
| 关 键 词： | 激光 诱导 抗蚀剂 固化反应 |
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