| 基于Modelica/Dymola的微谐振器建模与仿真 |
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| 引用本文： | 胡伟,魏昕,谢小柱.基于Modelica/Dymola的微谐振器建模与仿真[J].计算机仿真,2010,27(10). |
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| 作者姓名： | 胡伟 魏昕 谢小柱 |
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| 摘 要： | 针对MEMS的多领域耦合和系统级的快速建模与仿真要求,提出研究关于微型梳状静电谐振器建模与仿真方法.为提高系统的稳定性,减少误差,采用了基于Modelica/Dymola的非因果关系建模方法及流程,以梳状谐振器机电耦合模型的自然形式方程为基础,以Modelica语言建立非因果关系的仿真模型,借助于Dymola平台对振子的位移/速度曲线进行仿真.仿真结果与理论验证相符,表明Modelica具有建模过程简单、建模速度快和仿真精度高等优点,适合于MEMS多领域建模与仿真研究.
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| 关 键 词： | 微型梳状静电谐振器 非因果关系模型 建模 仿真 |
Modeling and Simulation of Micro Resonator Based on Modelica and Dymola |
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| HU Wei,WEI Xin,XIE Xiao-zhu.Modeling and Simulation of Micro Resonator Based on Modelica and Dymola[J].Computer Simulation,2010,27(10). |
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| Authors: | HU Wei WEI Xin XIE Xiao-zhu |
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