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| 直排四探针电阻率硅圆片非圆心点直径修正因子F2的简易求法 | |
| 作者姓名： | 周全德 赵向娅 |
| 作者单位： | 中国上海测试中心上海市测试技术研究所 上海200233(周全德，赵向娅)，中国上海测试中心上海市测试技术研究所 上海200233(孙月珍) |
| 摘 要： | 介绍Si片电阻率和薄层电阻的四探针法测量中,一种简便而精确的求非圆心处F_2值的方法. |
| 关 键 词： | 硅片 电阻率 探针 测量 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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