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基底表面预氧化对SiO2/S复合涂层的影响
引用本文:周建新,徐宏,张莉,刘京雷,戚学贵. 基底表面预氧化对SiO2/S复合涂层的影响[J]. 材料热处理学报, 2007, 28(5): 146-151
作者姓名:周建新  徐宏  张莉  刘京雷  戚学贵
作者单位:华东理工大学机械与动力工程学院,上海,200237;华东理工大学机械与动力工程学院,上海,200237;华东理工大学机械与动力工程学院,上海,200237;华东理工大学机械与动力工程学院,上海,200237;华东理工大学机械与动力工程学院,上海,200237
摘    要:为了减缓乙烯裂解炉管内表面的结焦,采用常压化学气相沉积方法,以二甲基二硫(DMDS)和正硅酸乙酯(TEOS)为先驱体,在预氧化的HP40合金试样上制备了SiO2/S复合涂层.分析了沉积温度、气体流速和沉积时间对涂层沉积速率的影响.利用扫描电镜、XPS和Raman光谱分别对涂层的形貌、成分和化学结构进行了表征,并对预氧化试样与涂层的结合进行了实验研究.结果表明,涂层主要由三节环Si-O-Si结构和Si-O-S结构组成,预氧化的试样涂层沉积速率是未氧化试样的2~3倍,试样氧化后涂层的抗热冲击性能和结合强度得到了提高.

关 键 词:常压化学气相沉积  SiO2/S复合涂层  HP40合金  预氧化
文章编号:1009-6264(2007)05-0146-06
修稿时间:2006-10-17

Effect of substrate pre-oxidation on SiO2/S composite coating deposited on HP40 alloy
ZHOU Jian-xin,XU Hong,ZHANG Li,LIU Jing-lei,QI Xue-gui. Effect of substrate pre-oxidation on SiO2/S composite coating deposited on HP40 alloy[J]. Transactions of Materials and Heat Treatment, 2007, 28(5): 146-151
Authors:ZHOU Jian-xin  XU Hong  ZHANG Li  LIU Jing-lei  QI Xue-gui
Affiliation:School of Mechanical and Power Engineering, East China University of Science and Technology, Shanghai 200237, China
Abstract:
Keywords:
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