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H13钢氮化前后表面磁控溅射CrAlN薄膜的摩擦磨损性能
引用本文:尹小定,王社斌,余春燕,田林海,许并社.H13钢氮化前后表面磁控溅射CrAlN薄膜的摩擦磨损性能[J].机械工程材料,2008,32(9):59-63.
作者姓名:尹小定  王社斌  余春燕  田林海  许并社
作者单位:[1]太原理工大学材料科学与工程学院 [2]表面工程研究所 [3]教育部新材料界面与工程重点实验室,山西太原030024
基金项目:国家自然科学基金,国家自然科学基金 
摘    要:为了提高H13钢的表面耐磨性能,用直流磁控溅射法在氮化与未氮化的H13钢表面沉积CrAlN薄膜,并对处理前后的摩擦磨损性能进行了比较;用扫描电镜观察薄膜形貌,并测其厚度;测量了随炉硅片的薄膜显微硬度;用摩擦磨损试验机测试了在室温和600℃条件下薄膜的摩擦磨损性能。结果表明:薄膜平均厚度为4.8μm,硬度为23.7GPa;室温条件下材料的表面摩擦因数为0.60~0.65,600℃条件下摩擦因数为0.61~0.96;CrAlN/氮化H13钢和CrAlN/H13钢在室温摩擦时的耐磨性分别是H13钢的1.9倍和1.7倍,在600℃条件下耐磨性分别是H13钢的1.25倍和7倍。

关 键 词:H13钢  磁控溅射  CrAlN薄膜  摩擦磨损

Tribological Behaviors of CrAIN Films Deposited by Magnetron Sputtering on Surface before and after Nitriding of H13 Steel
YIN Xiao-ding,WANG She-bin,YU Chun-yan,TIAN Lin-hai,XU Bing-she.Tribological Behaviors of CrAIN Films Deposited by Magnetron Sputtering on Surface before and after Nitriding of H13 Steel[J].Materials For Mechanical Engineering,2008,32(9):59-63.
Authors:YIN Xiao-ding  WANG She-bin  YU Chun-yan  TIAN Lin-hai  XU Bing-she
Abstract:
Keywords:
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