|
|||||
|
|
| 深冷文献消息(国内部分) | |
| 作者姓名： | 谭志宣 |
| 作者单位： | 杭州制氧机研究所 |
| 摘 要： | <正>954101 前进中的我国特种气体行业梁国仑 申屠棠《低温与特气》 1995 №21~3特种气体主要包括电子气体和标准气体两大门类,是集成电路制造和大型石油化工装置正常运行必不可少的材料。文章指出,“八五”期间电子气体品种和质量应满足3μm工艺技术要求并能批量提供产品。目前,烷类气体、化学气体、刻蚀气等已在IC生产线上运用,南京产的硅烷已在 5 μm生产线上投用。大连产的标准混合气已在大庆、上海 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |