Sol—gel法制备纳米硅碳膜的研究 |
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引用本文: | 张洪涛,徐重阳.Sol—gel法制备纳米硅碳膜的研究[J].陶瓷工程,2000,34(1):4-6,22. |
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作者姓名: | 张洪涛 徐重阳 |
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摘 要: | 以长链甲基三甲氧基硅烷〖CnH2n+1Si(OCH3)〗和正硅酸惭脂(TEOS)身份种有机物为起始原料,用溶胶-产胶法制备也SiC膜。初步讨论了溶胶形成过程中水中氢键、酸及碱的作用。利用Raman光谱和透射电镜(TEM)结合XPS等测试方法对制得的膜进行了结构、颗粒尺寸及化学成分等的研究,根据分析和观察结果,膜由颗凿及寸在直径为2nm-4nm,长度为20nm-40nm左右的SiC纳米晶须构成,纯度
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关 键 词: | 纳米晶须 溶胶凝胶法 碳化硅 薄膜 |
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