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| 质谱分析中高压强气体的线性微量取样 | |
| 作者姓名： | 李军建 王欲知 |
| 作者单位： | 电子科技大学光电子技术系!成都610054(李军建)，西南交通大学物理系!成都610031(王欲知) |
| 摘 要： | 报道一种质谱分析用的新型高压强气体取样阀。该阀采用多孔漏孔对高压强气体进行分子流微量取样；可以对133～1．013×105Pa压强的气体进行线性取样。对于1．013×105Pa氮气的取样量为8×10-3PaL/s。 |
| 关 键 词： | 取样 高压强气体 质谱分析 |
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